仪器设备
聚焦离子束电子束双束显微镜

仪器名称

聚焦离子束电子束双束显微镜

联系人
王志芳
生产厂家
卡尔蔡司
邮箱
wangzhifang@tjpu.edu.cn
型号
crossbeam 55003040111
电话
15522087483
购买日期
2018/03/15
主要规格和技术参数
SEM 肖特基热场发射源 分辨率:1.6nm@1KV,0.9nm@15KV 加速电压:0.02-30KV 放大倍数:12X-2,000,000X 束流:10pA-40nA FIB 分辨率:〈3nm(多边统计法) LMIS 液态金属Ca离子源:3000uAh 束流:1pA-100nA 加速电压:0.5-30KV 放大倍数:300X-500,000X 两级静电式透镜 探测器 Inlens EsB,二次电子二次离子探测器,STEM(扫描投射探测器)
主要功能及特色
功能:1. 截面制作及成像 2. TEM样品制备 3. 微纳加工 4. 三维重构; 特色:1.无交叉光路设计 2. 动态加工可实时观测 3. 高效率样品制备。
主要附件及配置
具有18个标准配置端口 气体:单支GIS,Pt,C 纳米机械手 软件配置:Atlas二维自动拼图和三维重构软件,ORS三维数据处理软件 能谱仪EDAX: 能量分辨率:优于127eV,元素分析范围:Be4-Am95
测试结果展示